超高分辨率

通过高倍率的光学放大和X射线源与被观测物体之间的短间距，FXE系列微焦点X射线源可实现对极致细节的观察检测。

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典型应用场景

• 电子元器件检测
• 电路板焊点检测-PCBA
• 球栅阵列检测-BGA
• 集成电路检测-IC
• 半导体键合金线检测
• 半导体封装及互连构造检测
• 晶圆级芯片尺寸封装检测
• 微电子机械系统检测-MEMS